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説明
【特徴】
●熱による影響は小さく、周波数安定性は高い。
●成膜中の温度特性に優れる
●レート安定性が良いので、より長い時間使用可能
●シャッタ開閉時のふらつきや変化（熱衝撃の変化）が小さい
●水晶板の入替作業時間を大幅に短縮
●CRTMシリーズでの基本性能は確認済み
【仕様】
●発振周波数：5MHz
●電極材質：Au（金）
●電極表面：標準仕上げ
●外径寸法：Φ12.4
●対応成膜コントローラ：CRTM-6000G/CRTM-9200を含む全てのCRTMシリーズ
●塔載可能センサ：CRTSシリーズ（シングルセンサ、マルチセンサ）全て
●入数：12枚1組
追加情報
メーカー名:
アルバック
メーカー品番:
UCR-5MAU-12
予定納期:
注文から1～3日で発送